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웨이퍼 추적성

Wafer traceability

추적성

추적성은 개별 웨이퍼가 어떤 장비·챔버··조건을 거쳤는지 이력으로 연결할 수 있는 성질이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

레시피

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

설명

로트 단위 기록만으로 챔버 분기나 일부 의 재작업까지 충분히 구분하지 못할 수 있다. 제품·캐리어·슬롯·시간 식별을 혼동하지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

같은 로트 중 특정 챔버를 지난 만 이상하면 개별 경로가 영향 범위를 좁힌다. 전체 로트를 동일 조건으로 가정하지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

정확한 추적성은 문제의 원인뿐 아니라 영향 범위도 좁혀 준다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

MFC는 질량 유량 제어기로, 유량을 측정하고 내부 밸브를 조절해 설정한 유량에 가깝게 유지한다.