챔버 클린
Chamber cleaning
챔버 클린은 벽과 부품의 누적물·잔류를 제거해 공정 환경을 회복하는 과정이다.
설명
인시투·원격 플라즈마·분해 세정 등 방식은 대상 물질·부품·안전 조건에 따라 다르다. 강한 세정은 누적물을 줄이면서 부품 침식과 수명 손실을 늘릴 수 있다.
예시
세정시간 단축이나 연장은 잔류·부품 손상·공정 복귀 조건을 함께 검증한다. 특정 화학물의 현장 조작은 승인된 절차와 자격을 따른다.
구분
깨끗하게 만드는 것과 부품을 보존하는 것의 균형이 필요하다.