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플레이킹

Flaking

플레이킹은 벽이나 부품에 쌓인 막이 조각 형태로 떨어지는 현상이다.

설명

·접착·열사이클·기계적 자극이 겹쳐 발생할 수 있다. 누적막이 임계 상태에 가까워지면 운전·벤트·정비 중 입자가 급증할 수 있다.

막 응력

막 응력은 형성된 막 내부에 존재하는 인장 또는 압축 방향의 기계적 응력이다.

입자 급증 시 최근 열변화·챔버 개방·부품 이력을 대조한다. 평소 평균 입자 수가 낮았다는 이유로 박리 위험이 없다고 판단하지 않는다.

점진적 누적이 갑작스러운 입자 사건으로 나타날 수 있다.

막 응력은 형성된 막 내부에 존재하는 인장 또는 압축 방향의 기계적 응력이다.

포어라인은 고진공 펌프의 배출을 백킹 펌프 쪽으로 연결하는 경로이며, 배압은 그 배출 측 압력이다.

플라즈마 충전 손상은 절연 구조 등에 전하가 불균형하게 쌓여 전기적 스트레스나 손상을 만드는 현상이다.