ALD 온도 구간
ALD temperature range
온도 구간은 특정 화학계에서 원하는 과 막질이 유지되는 온도 범위다.
설명
너무 낮으면 반응 미완결이나 응축, 너무 높으면 전구체 분해나 표면 종의 탈착이 문제가 될 수 있다. 모든 가 평평한 곡선을 갖는 것은 아니다.
예시
가 일정해도 불순물이나 누설이 달라질 수 있으므로 두께만으로 온도 구간을 승인하지 않는다.
구분
성장 포화·불순물·전기적 요구를 함께 만족하는 범위를 찾는다.
ALD temperature range
온도 구간은 특정 화학계에서 원하는 과 막질이 유지되는 온도 범위다.
너무 낮으면 반응 미완결이나 응축, 너무 높으면 전구체 분해나 표면 종의 탈착이 문제가 될 수 있다. 모든 가 평평한 곡선을 갖는 것은 아니다.
가 일정해도 불순물이나 누설이 달라질 수 있으므로 두께만으로 온도 구간을 승인하지 않는다.
성장 포화·불순물·전기적 요구를 함께 만족하는 범위를 찾는다.