자기제한 반응
Self-limiting reaction
자기제한 반응은 반응 가능한 표면 자리가 소모되면 같은 반응물의 추가 공급에도 해당 단계의 반응이 더 진행되지 않는 성질이다.
설명
이 성질이 성립하면 공급량의 작은 차이에 덜 민감한 성장을 기대할 수 있다. 기체 분해나 다른 반응이 섞이면 성립 범위가 무너진다.
예시
노출량을 늘릴수록 성장량이 계속 증가한다면 아직 포화 전인지 비자기제한 반응이 있는지 구분한다.
구분
평탄부 포화 확인과 실제 구조 내부 포화 확인을 분리한다.