선택적 증착
Area-selective deposition
선택적 증착은 서로 다른 표면의 반응성 차이를 이용하여 원하는 영역에서 우선적으로 막을 성장시키는 방법이다.
설명
원하지 않는 영역의 핵생성이 늦춰질 뿐 영구적으로 차단되지 않을 수 있다. 사이클이 늘수록 선택성이 저하될 가능성을 살핀다.
예시
원하는 영역의 목표 두께 달성과 비성장 영역의 결함 발생을 동시에 비교한다.
구분
선택성을 한 숫자보다 두 표면의 성장 이력과 결함으로 설명한다.