종횡비 의존 식각
Aspect-ratio-dependent etching
ARDE
종횡비 의존 식각은 구조의 깊이와 폭 비에 따라 식각 속도·형상이 달라지는 현상이다.
설명
좁고 깊은 구조에서는 반응물 도달·부산물 배출·이온 각도·충전의 영향이 커질 수 있다. 흔히 깊어질수록 속도가 줄지만 방향과 크기는 공정에 따라 달라진다.
예시
큰 개구 모니터만 정상이라고 제품의 좁은 구조가 정상이라고 판단하지 않는다. 폭·깊이별 결과를 따로 비교한다.
구분
평면·넓은 패턴의 결과를 깊은 구조로 그대로 확장하지 않는다.