열저항 네트워크
Thermal resistance network
열저항
열저항 네트워크는 웨이퍼에서 냉각원까지 열이 흐르는 경로를 각 구간의 전달 저항으로 나눈 모델이다.
설명
공정 열부하가 척 표면·척 내부·냉각수 경로를 지나간다. 한 구간의 저항이 커지면 같은 제거 열량에 필요한 온도차가 커진다.
예시
정상상태 단순 모델에서 열부하 200 W, 등가 열저항 0.05 K/W라면 온도차는 10 K다. 열저항이 0.10 K/W가 되면 20 K가 된다. 실제 공간 분포는 더 복잡하다.
구분
열원·열저항·냉각원 중 무엇이 바뀌었는지 나눠 본다.