뒷면 패시베이션
Backside passivation
뒷면 패시베이션은 박막화한 뒷면을 보호하고 필요한 영역을 절연하는 막 형성이다.
설명
접점으로 사용할 끝단은 연결 가능하도록 열고 그 주변은 절연·보호한다. 전극과 실리콘 사이의 원치 않는 경로를 줄여야 한다.
예시
보호막을 전체에 덮은 상태와 접점을 노출한 상태를 구분한다. 단면에서 막의 연속성과 개구 위치를 함께 확인한다.
구분
보호할 영역과 전기적으로 연결할 영역을 정확히 나눈다.
Backside passivation
뒷면 패시베이션은 박막화한 뒷면을 보호하고 필요한 영역을 절연하는 막 형성이다.
접점으로 사용할 끝단은 연결 가능하도록 열고 그 주변은 절연·보호한다. 전극과 실리콘 사이의 원치 않는 경로를 줄여야 한다.
보호막을 전체에 덮은 상태와 접점을 노출한 상태를 구분한다. 단면에서 막의 연속성과 개구 위치를 함께 확인한다.
보호할 영역과 전기적으로 연결할 영역을 정확히 나눈다.