바이어스 전력
Bias power
바이어스 전력은 측 전극의 전기적 조건을 조절하여 의 표면 입사 에너지 등에 영향을 주는 전력이다.
설명
방향성을 돕지만 과도한 충돌은 마스크 소모·표면 손상· 변화와 연결될 수 있다. 실제 영향은 가스·압력·소스 상태와 함께 정해진다.
예시
속도가 부족하다고 바이어스만 높이면 하부막 손실이 늘 수 있다. 속도 목표와 보존해야 할 재료를 동시에 평가한다.
구분
바이어스는 속도 조절 손잡이 하나가 아니라 표면 에너지 조건이다.