화면을 준비하고 있습니다.

노칭

Notching

노칭은 특정 경계나 하부 부근에서 측방으로 국부 식각이 더 진행된 형상이다.

설명

절연층 부근의 전하 축적에 의한 이온 궤적 변화 등이 기여할 수 있으나 모든 하부 파임의 원인을 충전 하나로 단정하지 않는다.

하부만 파인 구조가 특정 재료 경계에서 반복되면 계면·충전· 조건을 함께 비교한다.

과식각

과식각은 두께·속도·구조 차이로 남는 재료를 제거하기 위해 기준 종점이나 제거시간 이후 추가로 수행하는 식각이다.

모양은 원인 가설의 출발점이지 원인 확정의 증거가 아니다.

과식각은 두께·속도·구조 차이로 남는 재료를 제거하기 위해 기준 종점이나 제거시간 이후 추가로 수행하는 식각이다.

화학 기상 증착인 CVD는 기체 전구체의 반응으로 기판에 고체막을 형성하는 방법이다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.