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CCP

Capacitively Coupled Plasma

용량 결합 플라스마

CCP는 전극 사이의 용량성 결합을 통해 RF 에너지를 전달하는 방식이다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

설명

생성과 전극 바이어스가 서로 연결되기 쉬우며, 다중 주파수 등으로 제어 자유도를 높이는 구성이 있다. 단일 구조의 특성을 모든 CCP 장비로 확대하지 않는다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

전력을 바꾸었을 때 입자 밀도와 에너지가 함께 변할 수 있으므로 결과를 한 효과로만 설명하지 않는다. 구조와 구동 조건을 먼저 확인한다.

이온

이온은 전자를 잃거나 얻어 순전하를 띤 원자 또는 분자다.

방식은 에너지 결합 구조와 제어 관계로 이해한다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

이온은 전자를 잃거나 얻어 순전하를 띤 원자 또는 분자다.

FOUP는 전면 문을 통해 웨이퍼를 넣고 꺼내는 운반·보관용 용기로, 300 mm 웨이퍼 환경에서 널리 쓰인다.