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반사 전력

Reflected power

반사 전력은 RF 전력이 부하로 완전히 전달되지 못하고 전원 쪽으로 되돌아오는 성분이다.

설명

반사 전력이 커지면 전력 전달이나 부하 상태를 점검할 단서가 된다. 순방향 전력에서 반사 전력을 뺀 값도 케이블·정합기 손실을 무시하면 흡수 전력과 정확히 같지는 않다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

순방향 500 W, 반사 50 W라는 가상 값에서 차는 450 W다. 이것을 손실 검토 없이 에 전달된 전력이라고 부르지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

어디에서 측정한 전력인지와 어떤 손실을 포함하는지 확인한다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

FOUP는 전면 문을 통해 웨이퍼를 넣고 꺼내는 운반·보관용 용기로, 300 mm 웨이퍼 환경에서 널리 쓰인다.