캐리어 헤드
Carrier head
의 캐리어 헤드는 를 지지하고 패드에 가하는 압력 분포를 제어하는 모듈이다.
설명
영역별 압력과 가장자리 지지 구조가 면내 제거량에 영향을 줄 수 있다. 총 하중이 같아도 위치별 접촉은 다를 수 있다.
예시
가장자리 제거만 변하면 헤드 영역 제어와 지지 부품 상태를 함께 확인한다. 평균 압력 표시가 정상이라는 이유로 국소 접촉 문제를 제외하지 않는다.
구분
하중의 크기와 에 분배되는 방식은 다른 정보다.
Carrier head
의 캐리어 헤드는 를 지지하고 패드에 가하는 압력 분포를 제어하는 모듈이다.
영역별 압력과 가장자리 지지 구조가 면내 제거량에 영향을 줄 수 있다. 총 하중이 같아도 위치별 접촉은 다를 수 있다.
가장자리 제거만 변하면 헤드 영역 제어와 지지 부품 상태를 함께 확인한다. 평균 압력 표시가 정상이라는 이유로 국소 접촉 문제를 제외하지 않는다.
하중의 크기와 에 분배되는 방식은 다른 정보다.