패드 컨디셔닝
Pad conditioning
컨디셔닝
패드 컨디셔닝은 패드 표면의 상태를 조절하여 접촉과 전달 특성을 유지하는 과정이다.
설명
표면 막힘과 마모에 대응하지만 컨디셔너 자체도 소모된다. 조건이 바뀌면 제거율과 결함 수준이 함께 달라질 수 있다.
예시
새 컨디셔너 적용 뒤 제거율이 바뀌면 부품만 교체되었다고 보지 않는다. 공정에 영향을 주는 표면 생성 조건이 달라진 것이다.
구분
패드를 관리하는 부품의 상태도 결과의 일부다.
Pad conditioning
컨디셔닝
패드 컨디셔닝은 패드 표면의 상태를 조절하여 접촉과 전달 특성을 유지하는 과정이다.
표면 막힘과 마모에 대응하지만 컨디셔너 자체도 소모된다. 조건이 바뀌면 제거율과 결함 수준이 함께 달라질 수 있다.
새 컨디셔너 적용 뒤 제거율이 바뀌면 부품만 교체되었다고 보지 않는다. 공정에 영향을 주는 표면 생성 조건이 달라진 것이다.
패드를 관리하는 부품의 상태도 결과의 일부다.