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챔버 매칭

Chamber matching

팩별 설명

챔버 매칭은 여러 챔버가 정의한 조건에서 서로 허용 가능한 공정 결과를 내도록 비교·조정·검증하는 것이다.

설명

센서·부품·열·가스· 경계 차이 때문에 같은 숫자만으로 결과가 일치하지 않을 수 있다. 결과와 상태를 함께 비교한다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

레시피

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

평균 두께는 같지만 면내 분포가 다르면 평균 기준만으로 매칭 완료라고 볼 수 없다. 필요한 지표와 제품 범위를 맞춘다.

숫자가 같은 챔버와 결과가 동등한 챔버는 다른 개념이다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.