시즈닝
Chamber seasoning
챔버 시즈닝
시즈닝은 챔버 세정·정비 뒤 내부 표면과 반응 환경을 공정에 적합한 상태로 안정화하는 처리다.
설명
정해진 비제품 처리나 공정 조건으로 벽 상태 등을 준비할 수 있다. 단순히 전원을 켜고 기다리는 일이나 모든 장비에 같은 횟수를 적용하는 일과는 다르다.
예시
시즈닝 횟수를 채웠어도 실제 모니터 결과가 기준을 벗어나면 복귀 조건이 충족되지 않은 것이다. 시간·횟수와 결과를 함께 확인한다.
구분
시즈닝의 목적은 일정 장수를 소비하는 것이 아니라 재현 가능한 시작 상태를 만드는 것이다.