모니터 웨이퍼
Monitor wafer
모니터 웨이퍼는 장비나 공정의 상태를 확인하기 위해 정해진 목적과 평가 항목으로 사용하는 웨이퍼다.
설명
막 두께·입자·저항 등 필요한 결과를 측정할 수 있다. 모니터 구조와 실제 제품의 차이가 있으므로 확인 범위를 명확히 해야 한다.
예시
평탄한 모니터의 두께가 맞아도 깊은 제품 패턴의 피복성이 자동 보장되지는 않는다. 무엇을 대표하는 모니터인지 확인한다.
구분
모니터 합격은 정의된 확인 범위의 증거다.