질량 분석과 빔 순도
Mass analysis and beam purity
질량 분석은 질량 대 전하비에 따른 빔 궤적 차이를 이용해 원하는 이온종을 선택하는 과정이다.
설명
소스 상태·자기장·슬릿·전하 상태가 선택과 전달 효율에 영향을 준다. 원치 않는 종이나 에너지 성분이 섞이면 전하 적산만으로 품질을 설명하기 어렵다.
예시
종 선택 조건 변경 후에는 전류 증가뿐 아니라 순도·에너지·공간 분포를 함께 확인한다. 높은 빔 전류가 곧 올바른 이온 공급이라는 뜻은 아니다.
구분
빔의 양을 늘리기 전에 무엇이 들어오는지 확인한다.