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화학 증폭

Chemical amplification

화학 증폭은 노광으로 생성된 촉매 종이 후속 반응을 여러 번 유도하여 감광 반응의 효과를 키우는 방식이다.

설명

일부 레지스트에서는 광산이 노광 후 열처리 중 반응을 진행시킨다. 확산과 반응의 균형이 감도와 경계 선명도에 영향을 준다.

감도를 높이는 방향이 항상 작은 거칠기나 넓은 를 보장하지는 않는다.

공정 윈도우

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

반응량과 공간적 번짐을 함께 평가한다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

공정 마진은 정상적인 변동이 생겨도 실패 경계에 닿지 않도록 확보한 여유다.

변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.