클러스터 장비
Cluster tool
클러스터 장비는 공통 이송부에 여러 공정·처리 모듈을 연결한 장비 구성이다.
설명
대기 노출을 줄인 연속 처리나 병렬 작업에 유리하지만, 공통 로봇과 이 전체 을 제한할 수 있다. 모든 모듈이 같은 공정을 하는 것은 아니다.
예시
증착 전 표면 처리와 증착을 한 장비에서 연결하면 계면 노출을 줄일 수 있다. 챔버 수를 늘린다고 장비 이 같은 비율로 늘지는 않는다.
구분
챔버 수보다 실제 경로와 공유 자원을 함께 읽는다.