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로드록

Load lock

팩별 설명

로드록은 대기 측과 측 사이에서 압력을 바꾸어 를 넘기는 완충 챔버다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

작은 공간을 배기하고 다시 기체를 채우므로 공정 챔버 전체를 매번 대기에 노출할 필요가 줄어든다. 양쪽 게이트는 압력과 위치 조건에 맞춰 제어된다.

로드록 배기가 느려지면 반응 챔버가 정상이어도 다음 공급이 지연될 수 있다. 저하를 곧바로 공정 시간 증가로 해석하지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

처리량

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.

로드록은 유지와 물류 속도를 동시에 연결하는 경계다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.