소모품 수명 좌표
Consumable-life coordinate
소모품 수명 좌표는 부품이 사용·침식·열화 과정의 어느 위치에 있는지 나타내는 관리 값이다.
설명
누적 웨이퍼· 시간·처리량·클린 횟수 등 부품 메커니즘과 가까운 지표를 고른다. 같은 장수라도 공정 강도와 재료가 다르면 마모가 다를 수 있다.
예시
부품 교체 전후 비교에는 부품 로트·조립 상태·수명 초기 안정화도 기록한다. 부품 번호가 같다고 실효 특성이 완전히 같지는 않다.
구분
수명 지표는 달력보다 실제 열화 메커니즘과 연결한다.