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첫 웨이퍼 효과

First-wafer effect

first wafer effect

첫 웨이퍼 효과는 대기나 정비 후 첫 처리에서 연속 운전과 다른 결과가 나타나는 현상이다.

설명

벽 흡착·온도·가스 안정화·표면 상태가 운전 중 변하기 때문에 초기 몇 장의 결과가 달라질 수 있다. 모두 문제로만 환원되지는 않는다.

시즈닝

시즈닝은 클린·정비 뒤 챔버 표면을 일정한 공정 상태로 안정화하는 처리다.

대기시간·예열 상태·처리 순번별 결과를 비교한다. 첫 장을 제외한 평균만 보고 안정 운전으로 판정하면 제품 위험을 놓칠 수 있다.

초기 전이를 숨기지 말고 별도 조건과 지표로 관리한다.

시즈닝은 클린·정비 뒤 챔버 표면을 일정한 공정 상태로 안정화하는 처리다.

포어라인은 고진공 펌프의 배출을 백킹 펌프 쪽으로 연결하는 경로이며, 배압은 그 배출 측 압력이다.

막 응력은 형성된 막 내부에 존재하는 인장 또는 압축 방향의 기계적 응력이다.