막 응력
Thin-film stress
막 응력은 형성된 막 내부에 존재하는 인장 또는 압축 방향의 기계적 응력이다.
설명
입사 에너지·미세구조·불순물·기판과의 열팽창 차이가 응력에 영향을 준다. 같은 두께에서도 휨·박리·후속 공정 안정성이 다를 수 있다.
예시
증착률 보정으로 두께를 맞춘 뒤 웨이퍼 휨이 달라졌다면 에너지·온도·조성의 변화도 확인한다. 응력 부호와 측정 모델을 기록한다.
구분
두께 보정으로 기계적 품질까지 복구됐다고 가정하지 않는다.