교차 오염
Cross-contamination
교차 오염은 이전 공정·제품·부품의 성분이 다음 웨이퍼로 옮겨가는 현상이다.
설명
벽 기억·배관 잔류·이송 접촉·세정 불완전이 전달 경로가 된다. 검출량이 작아도 민감한 재료나 소자에서는 큰 영향을 줄 수 있다.
예시
제품 전환 순서에 따라 이상이 달라지면 경로와 잔류 가설을 본다. 전용 챔버·전환 절차·모니터의 필요성은 오염 허용 조건으로 판단한다.
구분
공정 순서는 시간표인 동시에 오염 전달 경로다.