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플라즈마 충전 손상

Plasma charging damage

팩별 설명

플라즈마 충전 손상은 절연 구조 등에 전하가 불균형하게 쌓여 전기적 스트레스나 손상을 만드는 현상이다.

설명

전자와 이온의 이동·도달 차이는 깊은 구조에서 커질 수 있다. 평균 전력이나 외관 프로파일이 정상이어도 전기적 신뢰성에 영향이 남을 수 있다.

전기적 모니터와 구조별 를 함께 본다. 프로파일 개선을 위해 에너지를 조절했다면 손상 지표를 별도 확인한다.

민감도

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

형상이 맞는 것과 전기적으로 손상이 없는 것은 다른 검증이다.

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

가스 처리량 Q는 일정 기준에서 압력과 체적유량의 곱으로 표현하는 가스 이동량이다.

유효 배기속도는 챔버 접속 위치에서 실제로 가스를 제거하는 체적 속도다.