확산
Diffusion
확산은 농도 차와 열적 운동 등에 의해 원자가 재료 내부에서 이동하는 현상이다.
설명
반도체 열처리에서는 도펀트 분포와 접합 형상을 바꿀 수 있다. 온도와 시간이 함께 영향을 주며, 더 뜨거운 처리가 항상 원하는 전기적 특성에 유리한 것은 아니다.
예시
얕은 분포를 유지해야 하는 구조에서 불필요하게 긴 열처리는 분포를 넓힐 수 있다. 활성화 목적과 과도한 이동 억제를 함께 검토한다.
구분
원자를 움직이게 하는 이점과 위치를 보존해야 하는 제약을 같이 본다.