퍼니스
Furnace
퍼니스는 가열된 반응관 등의 공간에 를 넣어 정해진 분위기와 온도 이력으로 처리하는 열 공정 장비다.
설명
산화··열처리·배치 증착 등에 사용될 수 있으며 가열 존과 가스 흐름, 적재 구조가 결과를 만든다. 장비 형태가 같아도 공정 목적은 다를 수 있다.
예시
같은 퍼니스 계열이라도 처리 재료와 오염 허용 기준에 따라 전용 구성이 필요할 수 있다. 최고 온도만으로 공정 간 호환을 판단하지 않는다.
구분
가열 공간·분위기·적재 방식이 함께 공정 환경을 형성한다.