드라이 펌프
Dry vacuum pump
드라이 펌프는 기체를 압축하는 공간에서 오일을 밀봉 매체로 쓰지 않는 펌프다.
설명
반도체 공정 배기에서는 오일 역류에 의한 오염을 줄이는 데 유리하다. 그렇다고 펌프 전체에 윤활제가 없거나 모든 부식성 가스를 제한 없이 처리한다는 뜻은 아니다.
예시
부산물과 입자 부하에 따라 온도 관리··정비 조건이 달라진다. 명칭만으로 재료 적합성과 배기 처리 능력을 판단하지 않는다.
구분
드라이라는 이름보다 실제 접액부·접가스부 재질과 사용 조건을 확인한다.