터보분자 펌프
Turbomolecular pump
터보분자 펌프는 고속 회전 날개로 기체 분자에 운동량을 주어 배기 방향으로 보내는 펌프다.
설명
고진공을 만드는 데 사용하며 배출 측을 충분히 낮은 압력으로 유지할 가 필요하다. 기체 종류에 따라 배기 성능과 압축 특성이 달라진다.
예시
터보 회전 상태가 정상이어도 배출 측 압력이 나쁘면 전체 성능이 제한될 수 있다. 고속 회전체의 정지·정비는 제조사 안전 절차에 따른다.
구분
터보 펌프는 혼자 대기까지 기체를 내보내는 만능 펌프가 아니다.