에지 다이
Edge die
에지 다이는 웨이퍼 가장자리 부근에 위치한 다이를 말하며 완전한 다이인지와 시험 대상 여부를 구분해야 한다.
설명
가장자리에는 불완전한 패턴이나 시험 제외 위치가 있을 수 있다. 제외 다이를 분모에 섞으면 수율이 왜곡된다.
예시
전체 위치 1,000개 중 시험 대상이 900개이고 855개가 합격했다면 대상 기준 수율은 95%다. 1,000개를 자동 분모로 사용하지 않는다.
구분
물리적 위치 수, 시험 대상 수, 실제 시험 수를 구분한다.