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컨덕턴스

Vacuum conductance

팩별 설명

컨덕턴스는 배관·밸브 같은 경로가 주어진 조건에서 기체를 얼마나 잘 통과시키는지를 나타낸다.

설명

길고 좁은 배관이나 제한된 개구는 배기 흐름을 방해한다. 값은 배관 형상뿐 아니라 기체 종류와 유동 영역에도 영향을 받는다.

펌프 자체가 커져도 연결 배관이 큰 저항이면 챔버에서 얻는 개선이 작다. 펌프 명판과 챔버 실제 배기 능력을 같은 값으로 보지 않는다.

펌프 앞의 배관과 밸브도 성능을 만드는 구성품이다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.