반응성 스퍼터링과 포이즈닝
Reactive sputtering and target poisoning
타깃 포이즈닝
반응성 은 반응 가스를 이용해 화합물막을 만들며, 타깃 포이즈닝은 타깃 표면에 화합물층이 형성되는 현상이다.
설명
타깃 표면 상태가 변하면 수율·방전 전압·가스 소모가 함께 변할 수 있다. 조건에 따라 전이와 이력 의존성이 나타난다.
예시
같은 반응 가스 설정이라도 증가 방향과 감소 방향에서 상태가 다를 수 있다. 가스 조성·전압·증착률을 함께 보고 승인된 전이 관리가 필요하다.
구분
반응 가스 설정과 실제 타깃 상태를 구분한다.