에피택시 로딩 효과
Epitaxial loading effect
에피택시 로딩 효과는 노출된 성장 면적이나 패턴 밀도에 따라 성장률·조성 등이 달라지는 현상이다.
설명
반응물 소모·수송·표면 반응의 차이가 국부 또는 전체 웨이퍼 수준에서 나타날 수 있다. 평탄막 조건은 실제 제품 패턴을 완전히 대표하지 않는다.
예시
같은 크기의 구조가 밀집 영역과 고립 영역에서 다르게 자라면 주변 노출 면적을 비교한다.
구분
제품 간 조건 이관 시 패턴 밀도 차이를 포함한다.