용어검색/반도체식각 종점 검출Etch endpoint detection팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L2식각 종점 검출은 신호 변화를 이용해 목표층 제거 또는 재료 경계 도달을 추정하는 방법이다.정의 복사관련 학습 ↓설명광 방출·간섭 등 측정 방식마다 보는 영역과 감도가 다르다. 웨이퍼 전체 신호는 드문 작은 구조의 잔류막을 놓칠 수 있다.예시종점 신호가 정상이어도 소수의 고종횡비 구멍이 덜 열릴 수 있다.구분종점 검출과 모든 구조의 완료 확인을 구분한다.함께 배우는 용어화학 기상 증착↗화학 기상 증착인 CVD는 기체 전구체의 반응으로 기판에 고체막을 형성하는 방법이다.임계 치수↗임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.스핀 코팅↗스핀 코팅은 기판 회전으로 용액을 펼치고 용매를 증발시켜 막을 형성하는 방법이다.이전 용어← 노칭다음 용어과식각 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개