시즈닝
Seasoning
시즈닝은 클린·정비 뒤 챔버 표면을 일정한 공정 상태로 안정화하는 처리다.
설명
벽의 흡착·코팅·온도 상태가 바뀌는 초기 구간을 관리해 제품 공정의 반복성을 높인다. 단순히 정해진 장수만 흘리는 것이 아니라 안정화 지표가 필요하다.
예시
정비 전과 같은 압력이라도 첫 웨이퍼 결과가 이동하면 벽·온도·잔류 상태를 확인한다. 시즈닝 완료는 승인된 공정·입자 기준과 연결한다.
구분
시즈닝은 시간 채우기가 아니라 표면 경계조건의 재현이다.