포커스 링과 가장자리 시스
Focus ring and edge sheath
포커스 링
포커스 링은 웨이퍼 주변의 플라즈마·전기적·기하학적 경계에 영향을 주는 소모성 부품이다.
설명
링 높이·재료·표면 상태가 변하면 가장자리 와 이온 입사 조건이 달라질 수 있다. 열·가스 분포와 함께 가장자리 프로파일에 영향을 준다.
예시
가장자리만 기울어진 패턴이 링 수명과 함께 변하면 링 상태를 후보로 둔다. 정렬·척 열전달·계측 좌표의 대안도 확인한다.
구분
가장자리 경계부품의 수명은 국부 공정 조건의 일부다.