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보트

Wafer boat

보트는 배치 열처리 등에서 여러 를 정해진 간격으로 지지하는 구조물이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

재질·슬롯 간격·청정도와 적재 위치가 열·가스 분포에 영향을 준다. 지지부가 오염되거나 손상되면 입자와 접촉 문제도 생길 수 있다.

보트 위치에 따라 두께나 특성이 반복적으로 달라지면 존 온도와 가스 소모·적재 패턴을 함께 확인한다. 모든 차이를 자체 문제로 돌리지 않는다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

묶음 처리에서는 수뿐 아니라 어디에 어떻게 놓였는지가 조건이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

EFEM은 장비 전면에서 캐리어와 내부 장비 사이의 웨이퍼 이송 및 국소 청정 환경을 담당하는 모듈이다.

슬롯 맵은 캐리어의 각 웨이퍼 위치에 무엇이 놓여 있는지 또는 점유되어 있는지를 나타내는 정보다.