박막
Thin Film
위에 형성되는 매우 얇은 재료 층으로, 에서는 절연·도전·방지막· 등 다양한 기능을 한다.
마스크
포토리소그래피에서 웨이퍼에 전사할 회로 패턴을 담아 노광에 사용하는 패턴 캐리어. DUV에서는 주로 투과형 레티클/마스크를, EUV에서는 반사형 다층 마스크를 사용한다.
용어 상세설명
박막-막 엔지니어링은 두께뿐 아니라 , composition, 응력, 등 여러 특성을 함께 관리한다.
예시
으로 수십 nm 수준의 절연막을 전면에 균일하게 형성한다. 관련 용어: 증착 / /
구분
박막은 결과물인 얇은 층이고 은 그 막을 만드는 공정이다.