단차 피복
Step coverage
단차 피복은 구조의 윗면·측벽·바닥에 형성된 막두께의 관계를 나타내는 성능이다.
설명
방향성이 큰 중성 원자 흐름은 깊은 구조의 측벽이나 가려진 부분에 도달하기 어렵다. 입구의 과도한 성장으로 안쪽 통로가 좁아질 수도 있다.
예시
바닥 두께를 윗면 두께로 나누는 정의를 쓰는 가상 예에서 8 nm/40 nm는 20%다. 다른 위치·정의를 쓰면 숫자를 직접 비교할 수 없다.
구분
평균 두께보다 필요한 위치에서 막이 끊기지 않는지가 중요하다.