이온화 PVD
Ionized PVD
iPVD
이온화 PVD는 방출된 금속의 일부를 이온화해 기판 쪽 전기장으로 전달 방향과 에너지를 조절하는 방식이다.
설명
바닥 도달을 돕거나 막을 치밀하게 만들 수 있지만 에너지가 커지면 재스퍼터와 하부층 손상을 키울 수 있다. 모든 입자가 같은 이온화율·에너지를 가지는 것은 아니다.
예시
바닥 피복 개선과 측벽 연속성·저항·손상을 함께 평가한다. 바이어스 증가를 단순한 증착량 증가로 해석하지 않는다.
구분
도달을 돕는 에너지가 이미 형성한 막을 다시 제거할 수도 있다.