GPC
Growth Per Cycle
사이클당 성장량
GPC는 의 한 사이클당 평균 막 두께 증가량이다.
설명
충분히 안정된 성장 구간에서는 두께를 사이클 수로 나누어 추정할 수 있다. 초기 성장 지연이나 조건 변화가 있으면 모든 사이클의 성장량이 같은 것은 아니다.
예시
교육용으로 GPC가 0.1 nm이고 선형 성장이 유지된다면 200사이클은 20 nm다. 실제 장비의 권장값이 아니라 계산 관계를 보여주는 가정이다.
구분
GPC와 사이클 수의 곱은 성장 상태가 일정하다는 조건부 예측이다.