핵생성 지연
Nucleation delay
핵생성 지연은 초기 표면에서 안정적인 막 성장이 시작되기까지 여러 노출·사이클이 필요한 현상이다.
설명
표면의 반응 자리와 화학 상태가 원료에 적합하지 않으면 초기 성장량이 작을 수 있다. 이후 막 위에서의 성장과 처음 기판 위에서의 성장은 다를 수 있다.
예시
같은 50사이클이라도 기판 재료가 바뀌면 두께가 달라질 수 있다. 오류를 의심하기 전에 초기 표면 조건도 확인한다.
구분
얇은 막일수록 초기 계면의 영향이 전체 두께에서 크게 드러난다.