CD
Critical dimension
임계 치수
CD는 기능에 중요한 패턴의 선폭·구멍 폭 등 관리 대상 치수다.
설명
후와 후의 CD는 서로 다른 단계 결과이며 식각 중 마스크·측벽 변화로 달라질 수 있다. 측정 위치와 방법도 함께 기록해야 한다.
예시
후 CD가 정상인데 후 넓어졌다면 노광뿐 아니라 식각 형상 변화를 조사한다. 서로 다른 단계의 CD를 같은 데이터열로 섞지 않는다.
구분
CD에는 어떤 구조를 언제 어디서 측정했는지라는 조건이 붙는다.