화면을 준비하고 있습니다.

오버레이

Overlay

팩별 설명

오버레이는 서로 다른 층의 패턴이 목표 상대 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 특성이다.

설명

정렬 마크 측정, 스테이지 위치, 변형과 공정 이력이 영향을 준다. 작은 선폭을 찍을 수 있는 해상도와 이전 층에 맞추는 능력은 다른 질문이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

한 층의 선폭이 목표와 같아도 접촉 구멍이 아래 배선에서 벗어나면 연결 문제가 생길 수 있다. 선폭과 중첩 결과를 별도로 확인한다.

작게 만드는 능력과 맞는 위치에 만드는 능력을 구분한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

면내 균일도는 한 웨이퍼의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.