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선단 거칠기

Line-edge roughness

LER

팩별 설명

선단 거칠기인 LER은 패턴 경계가 이상적인 매끈한 선에서 국부적으로 흔들리는 정도다.

설명

광자·반응·재료의 미세 변동과 측정 잡음이 관측값에 기여한다. 평균 가 같아도 거칠기는 다를 수 있다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

공정 변경 뒤 LER이 증가하면 측정 조건을 고정하고 반응· 조건을 비교한다.

현상

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

평균 치수 합격만으로 국부 경계 품질을 대신하지 않는다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.