설명
패턴 자체의 폭이 정확해도 아래 구조와 어긋나면 접촉 면적이나 절연 간격이 줄어든다. 와 별도의 측정·보정이 필요하다.
임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.
용어 상세 ↗예시
구멍 지름은 정상인데 이 커졌다면 위치 어긋남과 아래층 면적을 조사한다.
접촉 저항은 서로 다른 영역이나 재료의 접속부에서 발생하는 전류 흐름의 저항 성분이다.
용어 상세 ↗구분
크기 합격을 정렬 합격으로 대체하지 않는다.