측벽 보호
Sidewall passivation
측벽 보호는 중 옆면의 반응·제거를 억제하는 표면 상태나 보호층을 형성하는 것이다.
설명
반응물 조합과 온도, 입사 조건에 따라 보호와 제거가 균형을 이룬다. 보호가 부족하면 옆면 손실이, 과하면 막힘이나 잔류물이 생길 수 있다.
예시
좁은 구멍이 잘 내려가지 않는다고 보호 성분을 무조건 줄이면 선폭 손실이 커질 수 있다. 바닥 진행과 측벽 보존을 함께 본다.
구분
보호는 많을수록 좋은 것이 아니라 형상에 맞는 균형이 필요하다.