로딩 효과
Loading effect
로딩 효과는 노출된 재료의 면적이나 패턴 밀도에 따라 반응 자원의 사용과 공정 결과가 달라지는 현상이다.
설명
전체의 노출 면적 차이와 가까운 패턴 사이의 국소적 차이를 구분할 수 있다. 제품 패턴이 바뀌면 같은 장비 조건에서도 결과가 달라질 수 있다.
예시
촘촘한 영역과 성긴 영역에서 깊이 차이가 나면 패턴 밀도를 결과 지도와 함께 확인한다. 제품 전환 직후 변화가 모두 장비 고장이라는 뜻은 아니다.
구분
장비 설정 외에 반응에 참여하는 제품 면적도 공정 입력이다.